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高低溫探針臺(tái)超低溫情況下: 由于晶圓在超低溫情況下進(jìn)行探測(cè),水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓。水氣將會(huì)影響測(cè)量,導(dǎo)致測(cè)量失敗。真空倉(cāng)中的水氣將通過真空泵排出,真空泵必須具備長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量的要求。