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中國(guó)臺(tái)灣奕葉CG-196高低溫探針臺(tái)的探針座架設(shè)在真空腔體外側(cè)，在不破壞溫度及真空環(huán)境的情況下，隨著元件的冷縮熱膨，探針座可配合將探針做重復(fù)修改下針. 為消除來(lái)自于真空幫浦及地的震動(dòng)，內(nèi)置主動(dòng)氣浮式防震桌. 探針座少2 組多8 組，真空10exp-3 Torr 到10exp-6 Torr， 甚至提供腔體正壓到達(dá)10atm，超低溫達(dá)4度K ，超高溫達(dá)1200°C。
